경상국립대학교 반도체특성화사업단
극한환경 반도체 패키징
경상국립대학교 반도체특성화사업단
| 회차명/교육기간 | 접수기간 | 신청/정원 | 진행상태 |
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Easy Cluster Software를 활용한 반도체 공정 시뮬레이션 교육 교육기간: 2026년 7월 20일~ 7월22일 (18시간) |
2026-07-15 08:00 ~ 2026-07-28 17:00 | 24명 / 25명 | 접수마감 |
반도체특성화대학사업단에서 우리 학생들의 반도체 장비 구동에 대한 이해를 높이고 공정 설계 및 해석 역량을 강화하고자 반도체 공정 시뮬레이션 교육을 운영하고자 합니다
시간 | 1일차(07/20,월) | 2일차(07/21, 화) | 3일차(07/22, 수) |
10:00~12:00 | Project 소개/ 사용 방법 Cluster Moudule 구성 및 공정 흐름 이해 Cluster Module의 Manual 동작 기능 Semi Auto, Wafer Synch 실습 | Interlock/ Alarm/ Utility 이해 Interlock/ Alarm/ Parameter 이해 Utility 및 관련 LOG 설명 및 실습 Scheduler Job 확인 방법 이해 및 실습 | SECS/ Gem 통신 이해 SECS/ Gem 기능 소개 및 이해 EasySim 사용 방법 SECS-II Message, Event Log 확인 방법 실습 |
12:00~13:00 | 점심 식사 | 점심 식사 | 점심 식사 |
13:00~15:00 | CTC/ PMC 운영 CTC(Lot/ Cluster/Process Recipe) 작성 실습 PMC(작성 Recipe Auto Run) 공정 Parameter 실습 | Scheduler Option 변경 Scheduler Option 변경 이유 교육 Option 변경 후 실습 및 Log Data 확인 | SECS Message, 300mm Scenario SECS-II Message(심화) 작성 Gem 300 Scenario 작성 및 실습 300 Scenario를 통한 Throughput 확인 |
※ 교육 일정에 따라 종료 시간이 변경 될 수 있음
※ 해당 프로그램에 참가 신청을 진행한 학생들의 수월한 수료증 발급을 위해 개설된 프로그램 신청 폼입니다.
